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專注于材料研究領(lǐng)域

材料制備、真空獲得與檢測領(lǐng)域?qū)<?/p>

PECVD系統(tǒng)

射頻電源

文字:[大][中][小] 2021-9-16    瀏覽次數(shù):896    

主要參數(shù):

規(guī)格型號:VERG 300W

輸出功率范圍:0-300W

最大反射功率:100W

射頻輸出接口:50Ω

功率穩(wěn)定度:≤2W

諧波分量:≤-50dbc

供電供壓:單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機(jī)效率:≥80%

冷卻方式:風(fēng)冷

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