該系統(tǒng)為 PECVD系統(tǒng)，它包括真空管式爐系統(tǒng)、石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、匹配器，溫度范圍寬：100-1100度可調(diào)。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。 
1、迷你開啟式真空管式爐
技術(shù)參數(shù)：
爐管尺寸：Φ50×700mm
加熱元件：電阻絲
加熱區(qū)長度：230mm
恒溫區(qū)長度：100mm
工作溫度：1100℃
最高溫度：1200℃
控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度:±1℃
推薦升溫速度：20度/分鐘
最快升溫速度：100度/分鐘
爐門結(jié)構(gòu)：開啟式
工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
額定功率：2KW 
同時(shí)將電控單元和加熱部分分離，并在加熱部分下端安裝有凸輪連桿驅(qū)動裝置，可實(shí)現(xiàn)爐體在加熱情況實(shí)現(xiàn)上下?lián)u擺，達(dá)到混合物料的功能。
2、射頻電源 PE-100W
信號頻率 13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍 0W-100W
最大反射功率 30W
射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female
匹配模式 手動匹配
功率穩(wěn)定度 ≤2W
諧波分量 ≤-50dbc
供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
整機(jī)效率 >=70%
功率因素 >=90%
冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷

3、2路質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)MFC-2Z
設(shè)備特點(diǎn)：
   該設(shè)備為一個(gè)氣路集成，氣體經(jīng)過減壓閥減壓后，連接到氣體質(zhì)量流量計(jì)上，經(jīng)過流量控制后的氣體進(jìn)入到內(nèi)置混氣罐內(nèi)（可單獨(dú)氣體進(jìn)氣，也可以多路氣體預(yù)混合），再由出氣閥門連接到加熱設(shè)備，該設(shè)備可為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)提供原始數(shù)據(jù)記錄，也為實(shí)驗(yàn)條件重復(fù)性提供數(shù)字參考。 全進(jìn)口操作和控制系統(tǒng)，大大提升了設(shè)備的控制性能。
外形尺寸：600x600x650mm
連接頭類型：Φ6雙卡套不銹鋼接頭。
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：100sccm，200sccm （具體氣體量程 可根據(jù)工藝要求配置，需提前溝通確定）
準(zhǔn)確度：±1.5%
線性：±0.5～1.5%
重復(fù)精度：±0.2%
響應(yīng)時(shí)間：
氣特性：1～4 Sec
電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
最大壓力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
顯示：4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             
內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6
壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 
截止閥：Φ6
4、低真空機(jī)組
LVU-10是一套低真空機(jī)組，其極限真空度為10-1Pa， 內(nèi)部安裝有雙級旋片機(jī)械泵DRV-10配套使用，其接口為KF25，并配有真空連接管路一套，電阻真空計(jì)ZDR-I和連接管道接頭等。
技術(shù)參數(shù)
移動架 ?殼體尺寸:600mm(L)x600mm(W)x700mm(H)
?帶有4個(gè)滑動輪
?最大承重量：1000 lb
電壓/頻率 220V/50-60 Hz  
真空泵抽氣速率 ?10m3/h
?極限真空:10-1Pa
?容油量：1.1L
電阻真空計(jì)ZDR-I 測量范圍 1.0×105Pa-1.0*10-1pa
控制范圍 5.0×103pa—5×10-1Pa
控制方式 繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力AC220V/3A
測量路數(shù) 1路(可擴(kuò)展至2路)
DIANYUAN 90-260V/50HZ或220V±10% 50HZ
額定功率 ≤20W
配接規(guī)管 ZJ-52T
顯示方式 LCD數(shù)顯
數(shù)據(jù)電纜長度 2米
面板尺寸 96mm×96mm
波紋管 規(guī)格：KF25*1200mm
擋板閥 高真空專用不銹鋼閥門 連接口：兩個(gè)KF25接口