產(chǎn)品中心
PECVD系統(tǒng)
性能參數(shù):
項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
型 號(hào) |
PE-500 |
輸出功率 |
0-500W |
功率穩(wěn)定度 |
≤±0.5% |
輸出頻率 |
13.56MHz |
頻率信號(hào) |
標(biāo)準(zhǔn)正弦波 |
輸入電壓 |
AC180-250V |
輸入電流 |
4A |
輸出阻抗 |
50? |
承受駐波比 |
>3.0 |
冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
通訊口 |
RS232 RS485 標(biāo)準(zhǔn)Modebus |
模擬控制接口 |
DB15 |
輸出接口 |
N/UHF |
爐體/感應(yīng)線圈尺寸 |
600*600*700mm 200*250*260mm |
重量 |
55Kg |
脈沖 |
有 |
脈沖頻率 |
100-10KHz |
占空比 |
2%-95% |
主從模式CEX |
有 |
匹配器控制 |
有 |
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