序號

一、加熱爐部分

1

爐膛模式

前后移動開啟式爐膛（三個工藝爐膛）

2

顯示模式

10 英寸觸摸屏

3

加熱元件

短紅外波燈管，上下水平面獨立加熱

4

工作溫度

≤750℃

5

升溫速率

≥15℃/s（空爐）

6

樣品移動

有，速度可調(diào)

7

溫區(qū)長度

200mm（恒溫區(qū) 100*100mm）

8

溫度均勻性

≤±2℃

9

工藝位溫降

≤30℃

10

快速降溫

≥3℃/S（空爐）

11

爐管規(guī)格  

Φ150*1200 mm

12

控溫精度

 ±1℃

13

密封方式

快速法蘭密封

14

儀表補償

室溫自動補償

15

溫度曲線

30 段"時間—溫度曲線"任意可設

16

外殼溫度

≤40℃（室溫≤25℃）

17

超溫報警

有

18

過流保護

有

19

斷偶提示

有

20

測溫元件

K 型鎧裝熱電偶（Omega）

21

爐膛材料

氧化鋁纖維

22

外形尺寸  

1450*700*1000MM長*寬*高

23

整機功率

單個溫區(qū) 12kw，共計 36KW

24

電源參數(shù)

380V 50Hz

二、傳動機構(gòu)

1

樣品移動

伺服電機驅(qū)動剛玉推桿帶動基板移動

2

運行軌道

鉬軌道

3

推桿速度  

可調(diào)

4

導軌水平度

≤1mm/m

5

推桿定位誤差

≤1mm

6

防撞措施  

超力矩推不動，急停按鈕

7

蒸發(fā)距離

樣品下平面和坩堝上平面間距≦2mm,可根據(jù)需要調(diào)節(jié)

8

速度誤差  

≤1%

三、真空與氣氛

1

抽真空能力

大氣到≤5Pa 小于 15min（空爐）

2

氣壓范圍  

10 -3Pa～10 5Pa，機械泵極限≤5Pa

3

泄漏率

≤5 -4（Pa*m 3/s）

4

真空計范圍

大氣到 10 -5Pa，最大分辨率 0.01Pa

四、氣路系統(tǒng)

1

3 路進氣

2

2L 不銹鋼混合罐（帶指針式壓力表）

3

質(zhì)量流量計每路量程 1sccm－300sccm,流量計靈敏度 1sccm

4

超壓保護（≥1atm），根據(jù)設定壓力值自動排氣

五、控制系統(tǒng)

1

半自動運行  

手動按鈕，電動運行

2

全自動運行

顯示整個工藝流程且一鍵操作

3

溫度數(shù)據(jù)存儲

可存儲大于 3 個月的數(shù)據(jù)

4

數(shù)據(jù)導出

U 盤導出 excel 或 csv 格式，預留 PLC 接口

5

工藝曲線

設備端觸摸屏顯示實時曲線