名稱

規(guī)格

單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng)  

單溫區(qū)真空管式爐

爐管尺寸

Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格剛玉管可選（Φ50/60/80/100mm等）

主要參數(shù)

最高溫度: 1400℃ 

 工作溫度: 1300℃

 推薦升溫速率:≤10℃/min

 加熱區(qū)長度: 300mm

 額定功率：4KW

 電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結構

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層，最大限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 S型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集（需另購）

溫控儀表（可選）

標配儀表品牌為宇電，可指定其他品牌溫控儀表，如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵，防止來自內部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須完全放入爐腔。

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭）

 如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計（需另外訂購）

備注：本公司標配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數(shù)顯真空計，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣

擴展端口

 如進氣管道為橡膠軟管，則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機械泵：10^-1Pa

 分子泵機組：10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

二路質量流量控制系統(tǒng)

MFC-2Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

 316不銹鋼

量程

 50sccm、100sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇）

工作溫度

 5～45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m3/h

極限真空度：10^-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接

質保期

一年保修，終身技術支持。

 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

相關應用

爐膛內襯可以單獨更換（額外付費）

 可以根據(jù)要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

應用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）