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主要特點(diǎn)
此設(shè)備具有性價(jià)比高、性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便、成本低、便于操作維護(hù)的特點(diǎn)??梢栽O(shè)置功率為低、中、高級(jí)別,對(duì)各種不規(guī)整幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性,完全徹底地清除樣品表面的有機(jī)污染物。同時(shí)也可以在常溫條件下進(jìn)行超清洗,對(duì)樣品非破壞性處理。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) |
LPC-100 |
信號(hào)頻率 |
13.56MHz+/-0.005% |
功率輸出范圍 |
0W-500W |
最大反射功率 |
100W |
射頻輸出接口 |
50Ω,N-type,female |
功率穩(wěn)定度 |
+/-0.1% |
諧波分量 |
≤-50dbc |
供電電壓 |
單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 |
≥70% |
功率因素 |
≥90% |
冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
反應(yīng)艙規(guī)格 |
Φ165*L210mm(石英材質(zhì)) |
反應(yīng)艙有效容積 |
4.5L |
輸入電源 |
220V/50HZ |
整機(jī)輸入功率 |
100W |
射頻功率 |
0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
射頻頻率 |
13.56MHz |
常用工作氣體 |
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等 |
整機(jī)規(guī)格 |
500*250*300mm(長(zhǎng)*寬*高) |
整機(jī)重量 |
25KG |