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二維材料制備設備系列
雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)(含預熱器) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z
設備描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含預熱器) 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由預熱爐、雙溫區(qū)滑軌爐、質子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備
技術參數(shù)
雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50 |
爐體結構 |
該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃ · 爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。 |
爐管尺寸 |
Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) |
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功率 |
5kW |
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輸入電壓 |
220VAC 單相 50/60Hz |
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加熱元件 |
Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金) |
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最高溫度 |
最高溫度:1200℃ 額定溫度:1100℃ |
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升溫速率 |
≦10℃/min(推薦) |
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加熱區(qū)長度度 |
· 兩個加熱區(qū)的長度都是200mm · 分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制 |
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恒溫區(qū)長 |
· 100+100mm(±1℃) · 可獲得較長恒溫區(qū)間 |
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控溫精度 |
· ±1℃ |
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快速連接法蘭 |
· Φ50快結式不銹鋼真空法蘭
· 打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便 |
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預熱爐 |
功率 |
· 1kw |
加熱區(qū) |
· 100mm |
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最高溫度 |
· 1200℃ |
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工作溫度 |
· 200-800℃(可根據(jù)實際工藝需求調整) |
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五路質子流量控制系統(tǒng) MFC-5Z |
電壓 |
220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 |
316不銹鋼 |
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量程 |
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇) |
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工作溫度 |
5~45℃ |
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外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 700(H) mm |
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電壓 |
AC220V/50Hz單相 |
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功率 |
23W |
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真空系統(tǒng) LVU-10 |
殼體尺寸 |
· 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
最大承載量 |
· 1000 Lbs |
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抽氣速率 |
· 10m3/h · 極限真空度:10-1Pa · 雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接 |
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質保期 |
一年質保期,(相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件) |
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使用注意事項 |
· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa · · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃ · 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |