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一、簡(jiǎn)要介紹
結(jié)構(gòu)介紹
該設(shè)備為真空或者氣氛保護(hù)條件下的晶體生長(zhǎng)設(shè)備,樣品處理位于剛玉管內(nèi),剛玉管兩端均有真空法蘭密封。上端通過(guò)壓縮波紋管和真空旋轉(zhuǎn)接頭與電機(jī)相連??蓾M足樣品在真空或者氣氛條件下的旋轉(zhuǎn)和提拉。
性能
保溫材料采用真空吸附成型的氧化鋁纖維無(wú)機(jī)材料,環(huán)保節(jié)能,不含污物,潔凈,美觀。加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒,性能優(yōu)越,環(huán)形加熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提高設(shè)備使用穩(wěn)定性。
控溫方式:采用智能 PID 程序控制,控溫精度高、重復(fù)性好,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。方便用戶自行探索所長(zhǎng)晶體最適合的溫度梯度。
提拉機(jī)構(gòu)控制系統(tǒng):采用伺服電機(jī)系統(tǒng),提拉速度均勻穩(wěn)定,改善單晶生長(zhǎng)環(huán)境。
籽晶桿
設(shè)備固定裝置預(yù)留好連接桿的固定裝置,可用于連接鉑金絲或者提拉桿。(鉑金絲用戶自配)標(biāo)配有1套提拉桿,用于連接客戶生長(zhǎng)晶體所用的籽晶桿。
型號(hào) |
LFT1700C 100D80-TSSG VC |
設(shè)備重量 |
150KG |
外型尺寸(長(zhǎng)*寬*高) |
775*720*2310mm |
額定功率 |
4KW |
額定電壓 |
AC220V |
空氣開(kāi)關(guān) |
25A |
最高溫度 |
1650℃(<1hr) |
額定溫度 |
<1600℃ |
升溫速率 |
≤10℃/min |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
模糊 PID 程序控溫 (自整定調(diào)節(jié) 30段可調(diào)程序控溫) |
熱電偶型號(hào) |
B型 |
加熱元件 |
硅鉬棒 |
加熱區(qū)尺寸 |
100mm |
爐管尺寸 |
Ф80*700mm |
提拉速度 |
1-100mm/h |
旋轉(zhuǎn)速度 |
1-100r/min |
升降速度 |
40mm/min(可手動(dòng)控制) |
提拉行程 |
200mm |