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一、結(jié)構(gòu)介紹
該真空箱式爐系列用于在1100℃下半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)等工藝,也可用于產(chǎn)品的炭化試驗。該爐采用電阻絲加熱,PID程序控溫儀控制,溫控儀可設(shè)定30 段升溫曲線、PID控制參數(shù)自整定、并具有斷偶、超溫報警保護等功能。爐體采超輕質(zhì)高鋁纖維材料,具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點,設(shè)備可根據(jù)真空度的需要分別選用機械泵或其他真空機組,非常適合于試驗和小批量生產(chǎn)之用。
該設(shè)備為密封式加熱腔體,確保設(shè)備可在真空條件下,或者一些特殊氣氛條件下使用,相比普通箱式爐,使用環(huán)境更靈活,使用范圍更廣泛。
二、技術(shù)參數(shù)
型號 |
LFM1200C 64VC |
額定功率 |
13KW |
額定電壓 |
AC 220V 單相 |
最高溫度 |
1200℃ |
額定溫度 |
≤1100℃ |
升溫速率 |
10℃/min |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
模糊 PID 程序控溫(30段程序控溫) |
熱電偶型號 |
K 型 |
加熱元件 |
電阻絲 |
設(shè)備重量 |
325KG |
外型尺寸(長×深×高) |
845*960*1150mm |
爐膛尺寸(W*D*H) |
400*400*400mm |
爐膛容積 |
64L |
空氣開關(guān) |
63A |
冷態(tài)極限真空 |
≤100-400Pa |