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管式爐系列
大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設備用于較大尺寸（最大尺寸為8英寸）襯底退火處理，設備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，保溫性能好，電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型，美觀、節(jié)能；該設備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)，滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管，滿足高溫工作條件，也能滿足真空或者一定的正壓條件實驗要求，是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設備。
技術參數(shù)：
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型號 |
LFT1200C 450D254 |
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額定功率 |
13KW |
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額定電壓 |
380V |
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最高溫度 |
1000℃ |
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額定溫度 |
900℃ |
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推薦升溫速率 |
10℃/min |
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爐管尺寸 （可根據(jù)客戶要求訂制） |
內(nèi)徑245*600mm（含管堵） |
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外型尺寸（長×深×高） |
1900*700*2100mm |
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控溫精度 |
±1℃ |
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極限真空度（選件） |
1.0×10-3Pa（機械泵+分子泵） |
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加熱元件 |
OCr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
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重量 |
490公斤 |
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客戶自配裝空氣開關 |
40A |
流量控制器技術參數(shù)：
連接頭類型：Φ6雙卡套接頭
流量規(guī)格： （1000,1000，1000,1000，）sccm ，具體氣體量程 可根據(jù)工藝要求配置
準確度：±1.5%
線性：±0.5～1.5%
重復精度：±0.2%
響應時間：氣特性：1～4 Sec 電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
耐壓：3MPa
輸入輸出信號：0 V ~ +5.00 V（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
電源：+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作環(huán)境溫度:5 ℃ ~ 45 ℃
皖公網(wǎng)安備 34010302001026號