主要功能：

該設(shè)備具有性能穩(wěn)定、性價(jià)比高、操作簡(jiǎn)便、使用成本極低、易于維護(hù)的特點(diǎn)。 其配備RF射頻電源所產(chǎn)生等離子體對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性。能夠完全清除樣品表面的有機(jī)污染物，處理速度快、清洗效率高。 

綠色環(huán)保、不使用化學(xué)溶劑、對(duì)樣品和環(huán)境無(wú)二次污染。在常溫條件下進(jìn)行超清洗，對(duì)樣品非破壞性處理。

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)規(guī)格：LPC-100

反應(yīng)艙規(guī)格：Φ165×L210mm（石英材質(zhì)）

反應(yīng)艙有效容積：4.5 L

輸入電源：220V/50Hz

整機(jī)輸入功率：100W

射頻功率：0～100W（連續(xù)可調(diào)）

射頻頻率：13.56 MHz

常用工作氣體：空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等。

整機(jī)規(guī)格：500×250×300（長(zhǎng)×寬×高）mm

整機(jī)重量：25 Kg

射頻電源參數(shù)：

信號(hào)頻率：13.56MHz+/-0.005%

功率輸出范圍：100W

最大反射功率：

射頻輸出接口：50Ω，N-type,female

功率穩(wěn)定度：+/-0.1%

諧波分量：≤-50dbc

整機(jī)效率：?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V）頻率50/60HZ

整機(jī)效率：≥70%

功率因素：≥90%

冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷