2021-9-16
主要參數(shù):
規(guī)格型號:VERG 300W
輸出功率范圍:0-300W
最大反射功率:100W
射頻輸出接口:50Ω
功率穩(wěn)定度:≤2W
諧波分量:≤-50dbc
供電供壓:單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機效率:≥80%
冷卻方式:風(fēng)冷
沒有了
射頻電源500W PE-500
PECVD系統(tǒng)
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