大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設(shè)備用于較大尺寸（最大尺寸為8英寸）襯底退火處理，設(shè)備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，保溫性能好，電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型，美觀、節(jié)能；該設(shè)備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)，滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管，滿足高溫工作條件，也能滿足真空或者一定的正壓條件實驗要求，是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)：

流量控制器技術(shù)參數(shù)：

連接頭類型：Φ6雙卡套接頭

流量規(guī)格： （1000,1000，1000,1000，）sccm ，具體氣體量程 可根據(jù)工藝要求配置

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec  電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

耐壓：3MPa

輸入輸出信號：0 V ~ +5.00 V（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
電源：+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作環(huán)境溫度:5 ℃ ~ 45 ℃